(中國粉體技術網/三水)掃描電子顯微鏡分為冷場發射掃描電子顯微鏡、熱場發射掃描電子顯微鏡、環境掃描電子顯微鏡等不同類型。圖1為JSM-6700F型場發射掃描電鏡的全景圖。
圖1 JSM-6700F場發射掃描電鏡
掃描電子顯微鏡由電子光學系統、信號收集及顯示系統、真空系統和電源系統組成(如圖2)。
圖2 掃描電子顯微鏡結構示意圖
1、電子光學系統
由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成(圖3)。電子光學系統的作用是獲得掃描電子束,作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
圖3 掃描電子顯微鏡電子光學系統組成示意圖
2、信號收集及顯示系統
作用是檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號。普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體、光導管和光電倍增器組成(如圖4)。
圖4 掃描電子顯微鏡信號收集及顯示系統示意圖
3、真空系統和電源系統
真空系統的作用是為保證電子光學系統正常工作,防止樣品污染,提供高的真空度,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。電源系統由穩壓、穩流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
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