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石英塊體表面制備氮化硅層的研究 |
來源:硅酸鹽通報 更新時間:2013-06-13 21:39:53 瀏覽次數: |
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桂林理工大學徐卓等以高純Si粉或Si3N4粉為反應原料,分別以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉為粘結劑,按不同質量百分比與PVA飽和溶液混合,分層涂抹在石英塊體表面。在N2氣氛中,于1500℃高溫氮化燒結180min,在石英塊體表面制備氮化硅層。XRD與EDS圖譜的分析結果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉為粘結劑,產物層物相為氮化硅或氧氮化硅,產物層致密且有一定厚度和強度,但是產物層和石英塊體的結合性差;以自制玻璃粉為粘結劑的實驗結果表明:產物層主要物相為氮化硅,產物層有一定厚度和強度,而且與石英塊體的結合性較好。 |
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