3月30日,廣西神光光學科技有限責任公司年產600噸合成熔石英項目在廣西百色市田東縣舉行開工暨奠基儀式。
據悉,廣西神光光學科技有限責任公司建設的年產600噸合成熔石英項目選址于田東石化工業園,擬建設年產合成熔石英玻璃錠料600噸、電子級四氯化硅5000噸、副產鹽酸13000噸的建設項目,分三期建設完成。項目先后被列入自治區統籌推進重大項目、自治區“雙百雙新”項目、自治區軍民融合重點項目。
合成熔石英是二氧化硅單組分的高純度非晶態材料,具有優異的紫外透過率、低光吸收系數、高光學均勻性、高激光損傷閾值、低膨脹系數和耐輻照等特性,是用于紫外光學元件的首選光學材料。
商業生產合成熔石英玻璃的方法主要為氫氧火焰水解四氯化硅直接合成法。產品主要朝向高純度、高均勻性和大尺寸發展。
合成熔石英材料和技術在科學研究、航空航天、半導體集成電路、平板顯示以及紫外光學等領域有著廣泛應用,尤其是在大力支持和發展的IC集成電路和LCD平板顯示領域有著重要用途,可用于光刻機鏡頭和光掩?;濉F渲泄庋谀;孱I域中細分的IC集成電路用中小尺寸光掩?;宕砹烁呔鶆蛐院蜆O紫外透過耦合發展趨勢,LCD平板顯示用光掩?;宕砹舜蟪叽绨l展趨勢,光刻機鏡頭用途代表了高均勻性、超低膨脹性耦合發展趨勢。光刻機市場為設備裝設用途,質量極高而用量較小,光掩模基板市場為消耗品,品類多而用量大。
廣西神光光學科技有限責任公司為四川神光石英科技有限公司子公司,本項目產品與上述市場應用高度契合,主要為光掩?;逵绕涫荓CD領域光掩?;逵煤铣扇凼⑴髌峁┎牧现危紦a業鏈前端材料和坯片上游位置。
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